标准编号:GB/T 14143-1993
中文名称:300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
英文名称:300~900μm Silicon slices--Measuring of interstitial oxygen content--Infrared absorption method
发布日期:1993-02-06
实施日期:1993-10-01
归口单位:中国有色金属工业协会
批准发布部门:中国有色金属工业协会
起草单位
机电部第四十六研究所
标准编号:GB/T 14143-1993
中文名称:300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
英文名称:300~900μm Silicon slices--Measuring of interstitial oxygen content--Infrared absorption method
发布日期:1993-02-06
实施日期:1993-10-01
归口单位:中国有色金属工业协会
批准发布部门:中国有色金属工业协会
机电部第四十六研究所