标准编号：GB/T 14140.2-1993
中文名称：硅片直径测量方法 千分尺法
英文名称：Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
洛阳单晶硅厂
GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
立即下载标准文件大家都在看
- GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
- GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
- GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
- GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
- GB/T 14136.1-1993 纤维光学滤光器 第一部分:总规范(可供认证用)
- GB/T 2624-1993 流量测量节流装置 用孔板、喷嘴和文丘里管测量充满圆管的流体流量
- GB/T 14124-1993 机械振动与冲击对建筑物振动影响的测量和评价基本方法及使用导则
- GB/T 14073-1993 主要造林阔叶林树种良种选育程序与要求
- GB/T 14074.14-1993 木材胶粘剂及其树脂检验方法 可被溴化物测定法
- GB/T 14125-1993 振动与冲击对室内振敏设备影响的测量与数据呈报方法