标准编号：GB/T 14145-1993
中文名称：硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
英文名称：Test method for stacking fault density of epitaxial layers of silicon by interference-contract microscopy
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
上海有色金属研究所
GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
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