标准编号：GB/T 14144-1993
中文名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
英文名称：Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
中科院上海冶金研究所
GB/T 14144-1993 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
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