标准编号：GB/T 14146-1993
中文名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
英文名称：Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
上海市有色金属总公司
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