标准编号：GB/T 14141-1993
中文名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
英文名称：Test method for sheet resistance of silicon epitaxial，diffused and ion-implanted layersusing a collinear four-probe array
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
峨眉半导体材料研究所
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