标准编号：GB/T 15861-1995
中文名称：离子束蚀刻机通用技术条件
英文名称：Generic specification of ion beam etching system
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
归口单位：工业和信息化部（电子）
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
起草单位
电子部长沙半导体工艺设备所
标准范围
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
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