标准编号:GB/T 15872-1995

中文名称:半导体设备电源接口

英文名称:Power supply interface for semiconductor equipment

发布日期:1995-12-22

实施日期:1996-08-01

归口单位:全国电子测量仪器标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部(电子)

起草单位

中国华晶电子集团公司

标准范围

本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别,选择电源接插件、导线和电缆的要求。本标准适用于半导体设备的电源接口。

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