标准编号：GB/T 15862-1995
中文名称：离子注入机通用技术条件
英文名称：Generic specification for ion implantation equipment
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
归口单位：工业和信息化部（电子）
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
起草单位
电子工业部第四十八研究所
标准范围
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
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