GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法

国家标准

标准编号：GB/T 1552-1995

中文名称：硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法

英文名称：Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon and germanium with a collinear four-probe array

发布日期：1995-04-18

实施日期：1995-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草单位

上海有色金属研究所