标准编号:GB/T 4058-1995
中文名称:硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
英文名称:Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
发布日期:1995-04-18
实施日期:1995-12-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:国家标准化管理委员会
起草单位
峨嵋半导体材料厂
标准编号:GB/T 4058-1995
中文名称:硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
英文名称:Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
发布日期:1995-04-18
实施日期:1995-12-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:国家标准化管理委员会
峨嵋半导体材料厂