标准编号：GB/T 6616-1995
中文名称：半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定 非接触涡流法
英文名称：Test method for measuring resistivity of semiconductor silicon or sheet resistance of semiconductorfilms with a noncontact eddy-current gage
发布日期：1995-04-18
实施日期：1995-12-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
上海有色金属研究所
立即下载标准文件