标准编号：GB/T 42709.21-2026
中文名称：半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法
英文名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
发布日期：2026-07-30
实施日期：2027-02-01
提出单位：工业和信息化部（电子）
归口单位：全国集成电路标准化技术委员会、全国微机电技术标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
起草人
刘若冰、黄钦文、徐德辉、赵利平
起草单位
中国电子技术标准化研究院、上海烨映微电子科技股份有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、深圳稀导技术有限公司
标准范围
本文件描述了通过对微电子机械系统（MEMS）薄膜材料施加单轴和双轴载荷以测试和计算泊松比的方法。
本文件适用于长度和宽度小于10 mm、厚度小于10 μm的MEMS薄膜材料。
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