标准编号：GB/T 28634-2025
代替以下标准：GB/T 28634-2012
中文名称：微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析
英文名称：Microbeam analysis—Electron probe microanalysis—Quantitative point analysis for bulk specimens using wavelength dispersive X-ray spectroscopy
发布日期：2025-04-25
实施日期：2025-11-01
提出单位：全国微束分析标准化技术委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准委
起草人
曾毅、李香庭、彭帆
起草单位
中国科学院上海硅酸盐研究所
标准范围
本文件规定了应用电子探针显微分析仪或者安装在扫描电镜（SEM）的波谱仪（WDS），通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。本文件还包括如下内容：
——定量分析原理；
——本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围；
——仪器的一般要求；
——有关试样制备、实验条件选择、分析测量和报告等基本过程。
本文件适用于电子束垂直入射到表面平滑、均匀的块状试样的定量分析。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者宜从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器规格等信息。
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