标准编号:GB/T 14600-2025
代替以下标准:GB/T 14600-2009
中文名称:电子气体 一氧化二氮
英文名称:Electronic gas—Nitrous oxide
发布日期:2025-04-25
实施日期:2025-11-01
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:国家标准委
起草人
胡迎、谈益强、刘川、叶颖恒、栗广奉、许胜霞、吴桐、栗鹏伟、汤萍、史兰、赵丙倩、王蒙蒙、刘丹、孙福楠、朱安民、蒋昊、侯丽莹、吴晓良、王振、尚柏羊、蒋宏达、宫兵、赵洁、杨扬仲夫、赖晓峰、周鹏云、黄加斗、尹乐乐、吴攀、吴俊睆、文瞳媛、石刻山、潘振环、陈雅芬、寻虎、李文博、陈艳珊、吕磊、郭琼、殷昊、葛修杰、王见见、黄辉、张体强、王军锋、何睿、王大为、张静、何波、唐中伟、唐霞梅
起草单位
昊华气体有限公司西南分公司、重庆同辉气体有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、上海亿钶气体股份有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、大连大特气体有限公司、中国计量科学研究院、中海油能源发展股份有限公司安全环保分公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、福建优力特材料科技有限公司、江苏华中气体有限公司、福建德天宸新材料科技有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、联雄投资(上海)有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国计量大学、中国计量测试学会、西南化工研究设计院有限公司
标准范围
本文件规定了电子用一氧化二氮的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存,描述了相应的试验方法,提供了一氧化二氮的安全信息。
本文件适用于以工业一氧化二氮为原料提纯制得的电子用一氧化二氮。