标准编号：ISO 15471:2016
中文名称：表面化学分析 俄歇电子光谱法 选定的仪器性能参数的描述
英文名称：Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy — Description of selected instrumental performance parameters
发布日期：2016-09
标准范围
This International Standard describes the way in which specific aspects of the performance of an Auger electron spectrometer shall be described.
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