标准编号：ISO 14644-5:2004
中文名称：洁净室及相关受控环境 第5部分：操作
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 5: Operations
发布日期：2004-08
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ISO 14644-5:2004 洁净室及相关受控环境 第5部分：操作
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