标准编号:T/CEMIA 019-2019
中文名称:显示面板用稀释液
英文名称:Thinner for display panels
发布日期:2019-08-01
实施日期:2019-11-01
批准发布部门:中国电子材料行业协会
起草人
邢攸美、李盈盈、李潇逸、胡涛、周利超、李欢、顾玲燕、刘伟鑫、邹卫、洪明卫、高立江、倪芸岚、王海龙、陈浙、熊毓文、许群立、李玉兴、王小栋
起草单位
杭州格林达电子材料股份有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、广东锂越新材料科技有限公司、杭州电化新材料有限公司、杭州电化精细化学品有限公司
标准范围
本标准规定了显示面板用稀释液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于显示面板用:1-甲氧基-2-丙醇乙酸酯稀释液及70% 1-甲氧基-2-丙醇和30% 1-甲氧基-2-丙醇乙酸酯混合物稀释液,主要应用于显示面板制造光刻工艺中的清洗过程。