标准编号：SJ/T 10312-1992
中文名称：电子束暴光机通用技术条件
发布日期：1992-06-15
实施日期：1992-12-01
批准发布部门：电子工业部
标准范围
本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。
SJ/T 10312-1992 电子束暴光机通用技术条件
立即下载标准文件大家都在看
- SJ/T 10302.2-1992 SKY-75-7、SYKY-75-7型电缆分配系统用纵孔聚乙烯绝缘同轴电缆
- SJ/T 10799-2000 电子元器件详细规范 MF53-1型直热式负温度系数热敏电阻器 评定水平E
- SJ/T 10332-1992 计算机用数字化仪通用技术条件
- SJ/T 10331-1992 电视广播接收机用音频、视频信号切换器技术要求和试验方法
- SJ/T 10569-1994 CC4型瓷介固定电容器详细规范
- SJ/T 10631-1995 工艺文件的编号
- SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
- SJ/T 11203-1999 液晶材料术语
- SJ/T 10711-1996 移动通信设备标准试验条件
- SJ/T 10704-1996 内藏式卫星电视广播接收机基本参数和测量方法