标准编号：GB/T 30866-2014
中文名称：碳化硅单晶片直径测试方法
英文名称：Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-02-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
丁丽、周智慧、蔺娴、郝建民
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
标准范围
本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。 本标准适用于碳化硅单晶片直径的量。
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