标准编号:GB/T 14620-2013

代替以下标准:GB/T 14620-1993

中文名称:薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片

英文名称:Alumina ceramic substrates for thin film integrated circuits

发布日期:2013-11-12

实施日期:2014-04-15

归口单位:工业和信息化部(电子)

批准发布部门:工业和信息化部(电子)

起草人

曹易、李晓英

起草单位

中国电子技术标准化研究院

标准范围

本标准规定了薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片(以下简称“基片”)的生产和采购,采用薄膜工艺的片式元件用氧化铝陶瓷基片也可参照使用。

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