标准编号：GB/T 26112-2010
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
英文名称：Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹
起草单位
天津大学、西安交通大学、太原理工大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、中原工学院
标准范围
本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、枪测机构从事微机电挂术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。
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