标准编号：GB/T 26113-2010
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
英文名称：Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
丁红宇、张苹、景蔚萱、刘伟、蒋庄德
起草单位
中机生产力促进中心、天津大学、西安交通大学、中原工学院
标准范围
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
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