标准编号：GB/T 26111-2010
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
英文名称：Micro-electromechanical system technology - Terms
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
丁红宇、刘伟、张苹、崔波
起草单位
中机生产力促进中心、清华大学、中北大学等、中国电子科技集团第13研究所、上海交通大学
标准范围
本标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发，评测和应用。
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