标准编号:GB/T 11446.4-1997
中文名称:电子级水电阻率的测试方法
英文名称:Test methods for resistivity of electronic grade water
发布日期:1997-09-01
实施日期:1998-09-01
归口单位:工业和信息化部(电子)
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
起草单位
中国科学院半导体研究所
标准范围
本标准规定了电子级水的电阻率的测试方法。本标准适用于测试电阻率为(0.5~18)MQ·cm(25℃)的电子级水。
标准编号:GB/T 11446.4-1997
中文名称:电子级水电阻率的测试方法
英文名称:Test methods for resistivity of electronic grade water
发布日期:1997-09-01
实施日期:1998-09-01
归口单位:工业和信息化部(电子)
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
中国科学院半导体研究所
本标准规定了电子级水的电阻率的测试方法。本标准适用于测试电阻率为(0.5~18)MQ·cm(25℃)的电子级水。