标准编号:GB/T 11446.5-1997
中文名称:电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
英文名称:Test method for measuringtrace metals in electronic grade water by atomic absorption spectrophotometry
发布日期:1997-09-01
实施日期:1998-09-01
归口单位:工业和信息化部(电子)
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
起草单位
中国科学院半导体研究所
标准范围
本标准规定了用无火焰(或火焰)原子吸收分光光度计测定电子级水中痕量金属铜、锌、镍、钠、钾的测试方法。无火焰原子吸收分光光度适用于1~Ⅲ级电子级水中痕量金属的测定。其方法检测限低于10<上标-7>%。火焰原子吸收分光光度法适用于Ⅳ电子级水中痕量金属的测定。