GB/T 9506.1-1988 吸气剂性能测试方法通则

标准编号：GB/T 9506.1-1988

中文名称：吸气剂性能测试方法通则

英文名称：Generic rules for test method of getter properties

发布日期：1988-06-25

实施日期：1988-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草单位

南京工学院

标准范围

本标准规定了吸气剂性能测试中必须共同遵守的测试条件、辅助工艺规程以及对主要测试设备的要求，适用于吸气剂产品性能的测试。

标准预览图