标准编号：GB/T 9506.6-1988
中文名称：掺氮吸气剂钡膜分布测试方法
英文名称：Test method for barium film distribution ofnitrogen-doped getter
发布日期：1988-06-25
实施日期：1988-12-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
电子部741厂
GB/T 9506.6-1988 掺氮吸气剂钡膜分布测试方法
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