标准编号：GB/T 4061-1983
中文名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
英文名称：Polycrystalline silicon--Examination method--Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
发布日期：1983-12-20
实施日期：1984-12-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位
峨嵋半导体材料厂
GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
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