GB/T 4060-1983 硅多晶真空区熔基硼检验方法

标准编号：GB/T 4060-1983

中文名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon--Examination method--Vacuum zone-melting on boron

发布日期：1983-12-20

实施日期：1984-12-01

归口单位：中国有色金属工业协会

批准发布部门：中国有色金属工业协会

起草单位

峨嵋半导体材料厂

标准预览图