标准编号:JJF(浙) 1210-2025

中文名称:激光平直度测量仪校准规范

英文名称:Calibration Specification for Laser Flatness and Straightness Measuring Systems

发布日期:2025-07-20

实施日期:2025-10-20

归口单位:浙江省市场监督管理局

起草人

陈宁(浙江省质量科学研究院);王瑛辉(浙江省质量科学研究院);朱进(浙江省质量科学研究院);沈斌(杭州徕之测量技术有限公司);祖洪飞(浙江理工大学);郭钢祥(浙江省质量科学研究院);卢歆(浙江省质量科学研究院)

起草单位

浙江省质量科学研究院;杭州徕之测量技术有限公司;浙江理工大学

标准范围

激光平直度测量仪通常包括激光发射器、接收靶以及操作终端,以激光发射器发射出准直激光束的光轴为空间直线基准,通过位置传感器或图像传感器(通常称作接收靶)测出落在接收靶靶标上的光斑的能量质心的位置,操作终端用于数据采集和数据处理,在各个测量点上采集的数据通过测量软件算法可实现直线度,平面度,垂直度,平行度等测量。

本规范适用于基于位置传感器或图像传感器原理且位移分辨力不高于 0.1μm 的激光平直度测量仪的校准。

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