标准编号：GB/T 23414-2026
代替以下标准：GB/T 23414-2009
中文名称：微束分析 扫描电子显微术 术语
英文名称：Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Vocabulary
发布日期：2026-01-28
实施日期：2026-08-01
提出单位：全国微束分析标准化技术委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准委
起草人
李香庭、曾毅
起草单位
中国科学院上海硅酸盐研究所
标准范围
本文件界定了扫描电子显微术(SEM)在实际应用中使用的术语。包括基础术语和按不同技术内容分类的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。
本文件适用于所有有关SEM实际应用中的标准化文件。另外，本文件的某些术语，也适用于相关领域的文件[例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等]。
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