标准编号：T/IAWBS 023-2025
中文名称：金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法
英文名称：Measurement of surface stress distribution of diamond single crystal-Raman spectroscopy method
发布日期：2025-09-24
实施日期：2025-10-10
团体名称：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
起草人
曹繁秋、霍晓迪、金鹏、郑红军、李国平、闫方亮、屈鹏霏、王镇、沈婧、胡恩萍、李红东、刘祎晨、陈健
起草单位
中国科学院半导体研究所，德州学院，堀场（中国）贸易有限公司，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，江苏卓远半导体有限责任公司，北京聚睿众邦科技有限公司，吉林大学，河南六面顶新材料科技有限公司
标准范围
本文件规定了立方金刚石单晶表面应力分布的测试方法。
本文件适用于立方金刚石单晶表面应力分布的测试。
标准预览图
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