ISO 25178-603:2013 产品几何量技术规范（GPS） 表面结构：区域 第603部分：非接触式（相移干涉显微镜）仪器的标称特性

标准编号：ISO 25178-603:2013

中文名称：产品几何量技术规范（GPS） 表面结构：区域 第603部分：非接触式（相移干涉显微镜）仪器的标称特性

英文名称：Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments

发布日期：2013-10

标准范围

This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes.

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