标准编号：ISO 14644-10:2013
中文名称：洁净室和相关受控环境 第10部分：化学浓度法进行表面洁净度分类
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
发布日期：2013-03
ISO 14644-10:2013 洁净室和相关受控环境 第10部分：化学浓度法进行表面洁净度分类
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