ISO 16531:2013 表面化学分析深度分析俄歇电子能谱和光电子能谱中深度分析用离子束的校正及电流或电流密度的相关测量方法

标准编号：ISO 16531:2013

中文名称：表面化学分析深度分析俄歇电子能谱和光电子能谱中深度分析用离子束的校正及电流或电流密度的相关测量方法

英文名称：Surface chemical analysis — Depth profiling — Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS