标准编号：ISO 16413:2013
中文名称：X光反射法评估薄膜的厚度、密度及接口宽度 仪器要求、校准及定位，数据采集以及数据分析报告
英文名称：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
发布日期：2013-02
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