ISO 18115-3:2022 表面化学分析 词汇.第3部分：光学界面分析中使用的术语

标准编号：ISO 18115-3:2022

中文名称：表面化学分析 词汇.第3部分：光学界面分析中使用的术语

英文名称：Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 3: Terms used in optical interface analysis

发布日期：2022-06

标准范围

This document defines terms for surface chemical analysis in the area of optical interface analysis including ellipsometry, Raman spectroscopy and nonlinear optical techniques as well as general optical terms.

标准预览图