标准编号：SJ/T 11450-2023
代替以下标准：SJ/T 11450-2013
中文名称：单晶炉能源消耗规范
英文名称：Specification for energy consumption norm of silicon single crystal grower
发布日期：2023-12-29
实施日期：2024-04-01
提出单位：中国电子技术标准化研究院
技术归口：中国电子技术标准化研究院
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
黄鸣、丁文革、谭三成、常晓鱼、张生春
起草单位
北京北方华创真空技术有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司
标准范围
本文件规定了单晶炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。
本文件适用于装料量为420kg~1500kg的单晶炉。
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