标准编号：T/ZZB 3749-2024
中文名称：多级罗茨干式真空泵
英文名称：Multi-stage roots dry pumps
发布日期：2024-07-05
实施日期：2024-08-05
团体名称：浙江省质量协会
起草人
陆学贵、李松波、卢冬雪、吴晓云、马明全、黄占超、宋涛、陈庆敏、侯大立、武涛
起草单位
浙江博亚精密机械有限公司、安泊智汇半导体设备（上海）有限公司、无锡松煜科技有限公司、上海应用技术大学、上海工程技术大学
标准范围
本文件规定了多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。
本文件适用于工作环境温度为5℃~35℃，除单级、双级以外的多级罗茨干式真空泵（以下简称泵）。
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