标准编号：JJF(鄂) 112-2024
中文名称：氧化层膜厚标准样片校准规范
英文名称：Oxide Film Thickness Standard Sample Calibration Specification
发布日期：2024-05-14
实施日期：2024-09-01
归口单位：湖北省市场监督管理局
起草人
罗锦晖（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、薄涛（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、熊瑊（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、张骋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、梁康（武汉大学）、沈威（武汉大学）、丁超（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）、郑锋（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）
起草单位
中国船舶集团有限公司第七〇九研究所、武汉大学
标准范围
膜厚标准样片（以下简称标准样片）是针对集成电路工艺参数测量设备，通过复现集成电路关键尺寸量值，通过椭偏仪进行测量，在实际工作状态下对椭偏仪完成校准。
标准样片是具备一个或多个典型值的专用标准样品，通过校准后主要用于椭偏仪的校准、实验室比对和能力验证等。
本规范规定了厚度在 10nm~1000nm 之间的氧化层膜厚标准样片的校准。
标准预览图
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