标准编号：T/QGCML 3970-2024
中文名称：半导体车间金属粉尘智能检测分析系统
英文名称：Intelligent detection and analysis system of metal dust in semiconductor workshop
发布日期：2024-03-28
实施日期：2024-04-11
批准发布部门：全国城市工业品贸易中心联合会
起草人
张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋
起草单位
凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有限公司
标准范围
本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。
本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。
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