标准编号：GB/T 42659-2023
中文名称：表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
英文名称：Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
提出单位：全国微束分析标准化技术委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
李伟、蔡潇雨、程碧瑶、魏佳斯、李适、杨树明、高思田
起草单位
中国计量科学研究院、西安交通大学、上海市计量测试技术研究院
标准范围
本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
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