JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范
| 标准号 | JJF 1351-2012 | 标准名称 | 扫描探针显微镜校准规范 |
| 发布日期 | 2012-06-18 | 实施日期 | 2012-09-18 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 起草人 | 朱振宇（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所）、任冬梅（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所）、傅云霞（上海计量测试技术研究院）、李源（上海计量测试技术研究院）、吕小洁（贵州计量测试院）、卢明臻（中国计量科学研究院）、李华丰（中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所） | ||
| 起草单位 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试研究所、中国计量科学研究院、贵州计量测试院、上海计量测试技术研究院 | ||
| 适用范围 | 本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。 扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。 |
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