标准编号:T/JSSES 16-2021
中文名称:集成电路行业废硫酸综合利用技术要求及试验方法
英文名称:Technical requirements and test method for comprehensive utilization ofwaste sulfuric acid in integrated circuit manufacturing industry
发布日期:2021-05-28
实施日期:2021-06-28
批准发布部门:江苏省环境科学学会
起草人
邱伟平、严与辉、徐林、蒋龙进、邱立京、李传红、纪罗军、吴卫民、袁宗涛、李彬、韩培、严伟、姜满兰
起草单位
江苏电科环保有限公司、江苏宣臻防腐工程有限公司、安徽超越环保科技有限公司、常州德帝士环保科技有限公司、中石化南京化工研究院有限公司、扬州嘉明环保科技有限公司、上海滤远能源科技有限公司、苏州宝典环保科技有限公司、常州江南冶金科技有限公司
标准范围
本文件规定了集成电路生产制造过程中废硫酸综合利用的技术要求、试验方法、检验规则、标志、随行文件、包装、运输、贮存、安全。
本文件适用于集成电路生产制造过程中废硫酸的综合利用。