标准编号：T/CEMIA 006-2018
中文名称：膜厚监控用石英晶振片
英文名称：Quartz crystal resonator for film thickness control
发布日期：2018-12-14
实施日期：2019-03-14
批准发布部门：中国电子材料行业协会
起草人
王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔
起草单位
唐山万士电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司，唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司，江苏省东海硅产业科技创新中心。
T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片
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