标准编号：DB13/T 5631-2022
中文名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范
发布日期：2022-12-27
实施日期：2023-01-27
提出单位：廊坊市市场监督管理局
归口单位：廊坊市市场监督管理局
批准发布部门：河北省市场监督管理局
起草人
贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、李继东
起草单位
廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
标准范围
本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。
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