标准编号：DB35/T 1873-2019
中文名称：热喷涂旋转硅靶材通用技术条件
发布日期：2019-12-19
实施日期：2020-03-19
归口单位：福建省工业和信息化厅
批准发布部门：福建省市场监督管理局
起草人
张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。
起草单位
福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。
标准范围
本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于以高纯硅粉为原料，添加微量物质后，采用等离子喷涂工艺，将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。
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