标准编号：DB44/T 1527-2015
中文名称：微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法
发布日期：2015-01-30
实施日期：2015-04-30
归口单位：广东省质量技术监督局
批准发布部门：广东省质量技术监督局
起草人
王潇潇、韦争亮、王海燕、张鹏、张洁、程庆、熊磊、汪立文
起草单位
广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司
标准范围
本标准适用于扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度的评价，涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中，评价方法包括傅里叶变换（FT)法、对比梯度（CG）法及微分（DR）法。
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