标准编号：HG/T 4509-2013
中文名称：工业高纯氢氟酸
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
归口单位：全国化学标准化技术委员会无机化工分会
批准发布部门：工业和信息化
起草人
田志扬、赵晓亚 等
起草单位
浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司等
标准范围
本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
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